系統流程
前置過濾：
原水加壓馬達→全自動多層除濁過濾器→全自動活性碳過濾器→全自動軟化過濾器→軟水儲水塔→軟水加壓泵
RO純水系統：
RO進水泵→5μm精密過濾器→RO高壓泵→RO逆滲透系統主機→RO水儲水槽
EDI超純水系統：
EDI進水泵→1μm精密過濾器→EDI系統→UPW純水儲水槽→UPW送水泵→核子級精煉塔→TOC紫外線殺菌器→半導體精煉塔→UV紫外線殺菌器→0.2μm精密過濾器

主要特徵
．可作為電子廠製程用水
．水質可達10MΩ以上
．EDI產水水量12CMH
．自動定時沖洗裝置
．缺水低壓保護
．操作壓力設定控制
．儲存RO滿水位停機
．馬達機組附跳脫保護裝置
．具回流調整裝置,調整泵浦出水
．斷水警報裝置
．全系統採三菱PLC控制
．控制箱選用SS41鋼板粉體烤漆，內外雙門配置含透明觀看窗